深硅刻蚀机-变更公告
项目名称：深硅刻蚀机
******有限公司
招标编号：0779-******A005
本项目第五章招标公告1.3设备技术要求7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”
变更为：“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。
本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”
变更为：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。
特此公告
******有限责任公司
2024年11月25日
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